一、空調(diào)凈化系統(tǒng) 空調(diào)凈化的設(shè)計(jì)是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類(lèi)型、不同用途的廠(chǎng)房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點(diǎn),下面來(lái)介紹硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。(1)空調(diào)系統(tǒng)①切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求,設(shè)風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)(PAC)來(lái)保證房間溫度要求,室內(nèi)機(jī)就近放置在車(chē)間內(nèi),接風(fēng)管,采用雙層百葉風(fēng)口側(cè)送風(fēng)方式;室外機(jī)放置在屋面上。切片室的排風(fēng)量較大,新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋頂空調(diào)機(jī)S1-1和S1-2來(lái)補(bǔ)充。車(chē)間有防塵要求,風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處...
一、空調(diào)系統(tǒng)(1)冷熱源新風(fēng)集中處理機(jī)組(MAU)、降溫空調(diào)機(jī)組(AHU)及空調(diào)循環(huán)機(jī)組(RCU)所用的冷媒為7℃~12℃的冷凍水;新風(fēng)集中處理機(jī)組(MAU)及降溫空調(diào)機(jī)組(AHU) 所用熱媒為38℃~32℃的熱水;潔凈區(qū)新風(fēng)集中處理機(jī)組(MAU)初級(jí)冷盤(pán)管、潔凈區(qū)循環(huán)空氣處理干冷盤(pán)管所用冷媒采用15℃~20℃的冷凍水;加濕方式為電熱式加濕器。(2)空調(diào)系統(tǒng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求相應(yīng)設(shè)計(jì)了凈化空調(diào)系統(tǒng)、恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)、降溫空調(diào)系統(tǒng)及直流空調(diào)系統(tǒng)。1.廠(chǎng)房中的潔凈生產(chǎn)車(chē)間為工藝生...
一、風(fēng)量計(jì)算實(shí)驗(yàn)動(dòng)物房的空調(diào)凈化系統(tǒng)要解決的兩個(gè)主要問(wèn)題:防止交叉感染和臭氣的擴(kuò)散。實(shí)驗(yàn)動(dòng)物設(shè)施的污染源,除微生物外,還有氨、硫化物等發(fā)臭物質(zhì)。為防止發(fā)臭物質(zhì)的蓄積,實(shí)驗(yàn)動(dòng)物房的空調(diào)凈化系統(tǒng)一般采用全新風(fēng)方式。因此風(fēng)量的計(jì)算,主要是新風(fēng)量和排風(fēng)量計(jì)算。風(fēng)量一般采用經(jīng)驗(yàn)換氣次數(shù),根據(jù)規(guī)范,普通環(huán)境換氣次數(shù)采用15次/h,屏障環(huán)境換氣次數(shù)采用20次/h,另外還需結(jié)合具體房間的負(fù)荷,比較消除負(fù)荷所需的風(fēng)量大小,個(gè)別設(shè)備散熱量大的房間換氣次數(shù)會(huì)大于經(jīng)驗(yàn)值。新風(fēng)量確定后,根據(jù)房間壓差,...
一、濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠(chǎng)要在全年四季的氣候條件下,生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境,特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求,由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響,其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)格要求,對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的配置,則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。一般的,半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為:T=22±2℃,RH=45±5%;...
一、鋰電池產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求分析根據(jù)工藝需求特點(diǎn),可以大致將鋰電池生產(chǎn)廠(chǎng)房對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的濕度需求分為以下三類(lèi):1)普通濕度需求空調(diào)房間,如負(fù)極涂布間等房間,其濕度控制需求為≤60%,該需求可通過(guò)冷卻除濕實(shí)現(xiàn)。2)低濕需求空調(diào)房間,如正極輥壓間、正極分條間、正極模切間以及正極二分間等房間,其濕度控制需求為≤20%,以及正極涂布間、負(fù)極輥壓間、負(fù)極分條間、負(fù)極模切間以及負(fù)極二分間等房間,其濕度控制需求為≤45%,該需求通過(guò)冷卻除濕很難實(shí)現(xiàn),因此往往通過(guò)轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)組處理后來(lái)滿(mǎn)足...
一、分析醫(yī)藥生物類(lèi)潔凈廠(chǎng)房的特點(diǎn)及火災(zāi)危險(xiǎn)性所謂的潔凈廠(chǎng)房是指在建設(shè)進(jìn)程有特殊要求凈化車(chē)間。由于潔凈廠(chǎng)房在使用上的特殊性,決定了其建筑結(jié)構(gòu)、布局、功能分區(qū)等方面不同于一般建筑物的施工,潔凈廠(chǎng)房具有的特殊性和復(fù)雜性。再結(jié)合醫(yī)藥生物類(lèi)企業(yè)特點(diǎn),可以把醫(yī)藥生物類(lèi)潔凈廠(chǎng)房的特點(diǎn)歸為以下幾類(lèi):1.建筑和裝修材料大多數(shù)是可燃材料。由于潔凈廠(chǎng)房需要特殊,常使用許多新的復(fù)合材料,加之一些施工單位缺乏消防知識(shí),選擇顏色鋼鐵和泡沫,增加了火災(zāi)發(fā)生的概率,且這些材料燃燒,會(huì)產(chǎn)生大量的有毒氣體。2....
電子級(jí)磷酸屬于高純磷酸,是電子行業(yè)使用的一種超高純化學(xué)試劑,屬于電子化學(xué)品系列產(chǎn)品之,是電子工業(yè)不可替代的無(wú)機(jī)化工產(chǎn)品。電子級(jí)磷酸廣泛用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器等微電子工業(yè),主要用于芯片的清洗和蝕刻,其純度和潔凈度對(duì)電子、元器件的成品率、電性能及可靠性有很大影響。而環(huán)境控制是電子級(jí)磷酸項(xiàng)目的質(zhì)量保障體系之一,具有十分重要作用。大氣中所含塵埃和多雜質(zhì),會(huì)對(duì)高純度的電子級(jí)磷酸產(chǎn)品造成污染,因此必須在產(chǎn)品制備過(guò)程中和分析檢測(cè)過(guò)程中,對(duì)各個(gè)環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進(jìn)行潔凈化處理...
一、醫(yī)藥潔凈空調(diào)潔凈度設(shè)計(jì)潔凈室是室內(nèi)空氣潔凈度達(dá)到一定級(jí)別的房間,空氣潔凈級(jí)別依據(jù)每立方米空氣中的微粒數(shù)來(lái)確定。各個(gè)國(guó)家對(duì)空氣潔凈級(jí)別的劃分有不同的標(biāo)準(zhǔn)?!端幤飞a(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》規(guī)定一萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)每立方米空氣中0.5μm塵粒數(shù)≤350000,≥5μm塵粒數(shù)2000,浮游菌數(shù)≤100,沉降菌數(shù)≤3/皿;十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數(shù)≤3500000,≥5μm塵粒數(shù)≤20000,浮游菌數(shù)≤500,沉降菌數(shù)≤10/皿。凈化空調(diào)系統(tǒng)通過(guò)對(duì)空氣進(jìn)行凈化處理(過(guò)濾)以達(dá)到規(guī)...
一、醫(yī)藥廠(chǎng)房潔凈區(qū)內(nèi)部污染的產(chǎn)生醫(yī)藥廠(chǎng)房潔凈區(qū)內(nèi)有大量的工藝設(shè)備、運(yùn)輸工具及工作人員,這些工藝設(shè)備、運(yùn)輸工具、人員本身會(huì)產(chǎn)生粉塵、濕熱氣體、異味及細(xì)菌等污染物,構(gòu)成了潔凈區(qū)內(nèi)的污染源??刂茲崈魠^(qū)內(nèi)部污染物的擴(kuò)散,也是醫(yī)藥廠(chǎng)房潔凈空調(diào)設(shè)計(jì)的重要內(nèi)容。二、控制醫(yī)藥廠(chǎng)房潔凈區(qū)內(nèi)部污染方式探討1.產(chǎn)生粉塵房間的污染控制藥品生產(chǎn)過(guò)程中有許多工序可能產(chǎn)生粉塵,如粉碎篩分、制粒、膠囊充填等工序,如果這些房間空調(diào)氣流組織不合理,會(huì)造成粉塵擴(kuò)散,從而影響到該房間空氣潔凈度。以粉碎間為例,設(shè)計(jì)中...
《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》對(duì)潔凈廠(chǎng)房疏散走廊明確提出了機(jī)械排煙要求,但對(duì)于潔凈室沒(méi)有明確規(guī)定一定要設(shè)機(jī)械排煙,實(shí)際工程中各地消防部門(mén)對(duì)于集成電路廠(chǎng)房潔凈室是否設(shè)排煙的問(wèn)題上要求也不一致;但集成電路生產(chǎn)企業(yè)的業(yè)主通常會(huì)將整個(gè)廠(chǎng)房進(jìn)行投保,由于集成電路生產(chǎn)中要使用多種易燃的氣體和液體,保險(xiǎn)商一般均要求潔凈室設(shè)置機(jī)械排煙措施,否則增加保費(fèi)。所以在集成電路潔凈工程中,潔凈室機(jī)械排煙經(jīng)常是不可回避的問(wèn)題。集成電路廠(chǎng)房潔凈室國(guó)內(nèi)外目前常用的排煙方式有兩種:即下排煙和上排煙。一、下排煙方式下排煙...