集成電路潔凈廠房是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,該潔凈室對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD (靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級污染物)控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。一、FFU系統(tǒng)已成主流方案根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調機配合高效送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU(風機過濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。第一種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用,對于大面積高等級的...
IC 生產(chǎn)由于其工藝加工線寬極小,所以對溫濕度的精度要求很高,通常溫度精度為土0.3~±0.5℃,相對濕度精度為±2%~±3%。該類廠房潔凈室一般采用新風集中處理加FFU系統(tǒng),在下夾層或.上靜壓箱內設干表冷器。潔凈室內的相對濕度由新風機組保證,溫度由干表冷器保證。一、新風處理及相對濕度保證新風處理機組中設置初、中、高效三級過濾,以去除室外空氣中的灰塵粒子,設高效過濾器很有必要,可以延長潔凈室頂部FFU內ULPA過濾器的使用壽命;設置化學過濾器主要...
一、安全保證措施1.在項目經(jīng)理領導下,以施工現(xiàn)場專職安全員為首,組織各施工隊、組,各工種的兼職安全員,成立現(xiàn)場安全管理小組,負責全工地的安全生產(chǎn)的教育、指導、監(jiān)督和管理2.加強對職工的安全思想教育,提高職工“安全第一、預防為主”的方針的認識,讓每個職工懂得安全生產(chǎn)“人人有責”。組織現(xiàn)場職工學習,貫徹建筑安裝安全技術操作規(guī)程,對不同工種分別學習有關安全規(guī)程,堅決貫徹執(zhí)行3.嚴格貫徹中華人民共和國建筑法第四十六條的規(guī)定“未經(jīng)安全生產(chǎn)教育培訓的人員,不得上崗作業(yè)”。與每個職工簽訂安...
一、相關設計及規(guī)范要求(1)進入施工現(xiàn)場的所有設備、主要材料及配件都應有產(chǎn)品合格證或質保書,設備應有銘牌,不合格的嚴禁進場使用(2)各類吊、支托架、管道、風管法蘭等需防腐處理的金屬件在安裝前應嚴格除銹并刷防銹漆(埋地應刷兩度防銹漆),竣工前應刷面漆,各類管道的色標應按設計或規(guī)范要求執(zhí)行,并在主干管上標有流向標記(3)室內給水支管(管徑20及以下)的安裝,管道在轉角、水表水龍頭或角閥及管道終端100mm處應設管卡,管卡必須安裝牢固,水管管徑在40及以上的,應采用U型鋼、U字螺栓...
一、支、吊架制作安裝管道的支、吊架制作時應根據(jù)圖紙設計的要求進行。管道活動支、吊架的具體形式和設置位置根據(jù)現(xiàn)場實際情況確定。安裝前,先定位放線,根據(jù)設計要求及規(guī)范選用支、吊架材料。管道支、吊架設置于保溫層外部,在穿過支、吊架處應鑲以墊木。支吊架制作、組對時先點焊,檢查合格后方可正式焊接,使支、吊架的型式、材質、加工尺寸及焊接符合規(guī)范要求,制作完成后及時進行防銹處理。安裝時應根據(jù)設計要求進行放線并合理布置支架的安裝和受力部件必須符合有關標準的規(guī)定。支吊架應牢固緊密的固定在墻、柱...
施工工序:通風技術、物資準備→圖紙交底→洞、孔預埋→風管制作→管道安裝→設備安裝→設備調試→風量平衡測試→系統(tǒng)調試交驗一、相關設計及規(guī)范要求(1)空調通風管道的鍍鋅鋼板厚度按照現(xiàn)行規(guī)范執(zhí)行。風管的彎曲半徑為0.5A(A為轉彎邊邊長);(2)風管的三通或四通可采用三、四通管式或馬鞍管式,具體情況視現(xiàn)場實際情況而定;(3)空調風管法蘭制作采用熱軋等邊角鋼。角鋼法蘭制作時,應在平臺設置卡具,使成型法蘭表面平整度誤差≯2mm,對角線誤差≯2mm。圓形法蘭任意正交兩直徑之差≯2mm;(...
施工工序:電氣技術、物資準備→圖紙交底→管路預埋→配電柜(箱)安裝→橋架、保護管敷設→電線電纜、母線敷設→燈具、器具安裝→設備、器具安裝→送電、單體調試→系統(tǒng)調試交驗一、防雷接地系統(tǒng)該工程利用基礎鋼筋作接地體,基礎內不少于2根主筋焊接連通形成環(huán)網(wǎng),并與樁內鋼筋連接。屋面防雷裝置通過引下線(柱內主筋)與基礎接地網(wǎng)連通。配電間設總等電位端子箱MEB,由—25*4鍍鋅扁鋼從接地網(wǎng)引至。(1)接地體(線)的連接應采用搭焊接,其長度必須滿足:扁鐵寬度為2倍(至少三個棱邊焊接);圓鋼直徑...
隨著電子技術的發(fā)展,電子產(chǎn)品越來越多地應用于各類生產(chǎn)生活領域。與之相適應,電子生產(chǎn)廠房的修建也與日俱增。其中的接地技術較常規(guī)的建筑接地種類繁多,涉及面廣。接地系統(tǒng)根據(jù)用途具體可分為電源系統(tǒng)接地、電氣保護接地、防靜電接地、信息系統(tǒng)的接地、電子設備接地、防雷接地幾個種類。1、電源系統(tǒng)接地在某電子廠房設計中使用TN-S系統(tǒng)。變壓器中性點接地,系統(tǒng)的保護線與中性線完全分開,這種方式對供電、保護、經(jīng)濟合理性等均十分有利,其選擇原則與常規(guī)建筑一致。對于傳達室等距離主體建筑較遠的零星建筑單...
一、微電子廠房特點隨著科技技術的發(fā)展,電子產(chǎn)品生產(chǎn)日新月異,以微電子產(chǎn)品為代表的各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術發(fā)展迅速?,F(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化高純度、高質量和高可靠性,以人們熟悉的手機、筆記本電腦為例,它所使用的集成電路電子元器件以及其組裝的生產(chǎn)過程都要求在受控環(huán)境條件下進行操作。根據(jù)生產(chǎn)要求對室內空氣的潔凈度、溫度、相對濕度以及壓力、噪聲、振動、靜電等參數(shù)進行控制的生產(chǎn)廠房。微電子廠房與其他工業(yè)廠房相比,空氣潔凈度等級高氣流方式大部分為單向流、送風量大、室內溫濕度要求高、噪聲...
一、凈化空調設備安裝施工質量驗收的通用要求。1齊全的隨機文件,既代表了產(chǎn)品的內涵質量,又是安裝、運行的依據(jù),相關各方均應十分重視。2設備的開箱檢查、驗收是設備交接、安裝的重要環(huán)節(jié),應根據(jù)具體工程情況確定由建設方和有關方共同進行,并認真做好開箱、驗收記錄。3設備的搬運、吊裝、就位是設備安裝中十分重要的環(huán)節(jié),特別是大型、特殊結構的凈化空調設備,規(guī)范規(guī)定中強調:①應符合產(chǎn)品說明書要求,做好相關保護工作,防止設備損壞,這是確保設備安全搬運、吊裝、就位和在此過程人身安全的基本要求;②應...